产品详情
  • 产品名称:大尺寸样品正置式显微镜Axio Imager Vario

  • 产品型号:Axio Imager Vario
  • 产品厂商:德国蔡司
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简单介绍:
分析从极小的 MEMS 传感器到超大 XXL 晶圆,或甚至整块平板显微器,其间不会对样品造成破坏。借助*大 300 mm 的横向移动距离和*高 254 mm 的垂直深度,您可以在 Axio Imager Vario 下检测大量样品。一体化机柱设计确保了稳定性。在超净室内检测晶圆的应用中 – Axio Imager Vario 已通过 DIN EN ISO 14644-1 标准认证,并满足洁超净室等级 5 的要求。利用驱动 Z 轴的电动马达与自动聚焦硬件确保自动调整至更佳聚焦位置。
详情介绍:

大尺寸样品正置式显微镜Axio Imager Vario特点:

 

两种手动和一种电动机柱(配有符合工业标准的三个模式控制按钮)可供选择,充分   利用显微镜*大 300 mm 横向与纵向移动距离和*高 254 mm 垂直深度的优势。

Axio Imager Vario 能通过物镜转盘的上下移动来聚焦样品。这就意味着,即便是较重的样品,也可以获得高精准聚焦精度和可重复性。

借助自动聚焦硬件,您可以精准快速地聚焦低对比度的反射样品。

Axio Imager Vario LSM 700 组合应用,以高分辨率无接触地分析敏感样品。

Axio Imager Vario 已通过 DIN EN ISO 14644-1 标准认证,并满足洁超净室等级 5 的要求。

                 晶圆

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